Ang paglilinis sa ibabaw ng plasma ay isang proseso kung saan ang mga impurities at contaminants ng sample surface ay inaalis sa pamamagitan ng paglikha ng high-energy plasma mula sa mga gas na particle, ito ay dinisenyo para sa iba't ibang mga aplikasyon tulad ng surface cleaning, surface sterilization, surface activation, surface energy alteration, paghahanda sa ibabaw para sa pagbubuklod at pagdirikit, pagbabago ng kimika sa ibabaw.